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基于豐富的產(chǎn)品，針對(duì)不同行業(yè)特性，深入場(chǎng)景，提供智能制造綜合解決方案，助力企業(yè)智能化改造和數(shù)字化轉(zhuǎn)型。 -
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集團(tuán)成員
EN
TBA4894D_5軸大氣圓柱坐標(biāo)雙臂晶圓搬運(yùn)機(jī)器人
TBA4894D_5軸大氣圓柱坐標(biāo)雙臂晶圓搬運(yùn)機(jī)器人
TBA4894D_5軸大氣圓柱坐標(biāo)雙臂晶圓搬運(yùn)機(jī)器人，自主研發(fā)安全可控，可全面替代進(jìn)口品牌。
產(chǎn)品描述
5軸大氣圓柱坐標(biāo)雙臂晶圓搬運(yùn)機(jī)器人
TBA4894D_TBA系列半導(dǎo)體機(jī)器人
- ● 采用閉環(huán)伺服控制
- ● 可根據(jù)設(shè)備布局定制臂長(zhǎng)及Z軸行程
- ● 可選配免電池絕對(duì)式編碼器
- ● 可選mapping傳感器類(lèi)型：對(duì)射式、反射式
- ●可選末端執(zhí)行器類(lèi)型：真空吸附式、夾持式、翻轉(zhuǎn)吸附式
臂長(zhǎng)
200/260/320/400mm
額定/最大負(fù)載
3kg
搬運(yùn)物
≤Φ300mm晶圓
關(guān)鍵詞：
新時(shí)達(dá)眾為興TBA4030F-07-09_4軸大氣圓柱坐標(biāo)雙臂晶圓搬運(yùn)機(jī)器人
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